Khu Công nghệ cao Hoà Lạc được thành lập theo Quyết định số 198/1998/QĐ- TTg ngày 12 tháng 10 năm 1998. Với tổng diện tích 1586 ha, Khu Công nghệ cao Hoà Lạc được xây dựng theo mô hình thành phố khoa học với đầy đủ các dịch vụ tiện ích và những khu chức năng chính:

• Khu Phần mềm có diện tích 76 ha, bố trí tại khu bán đảo, xung quanh có hồ Tân Xã bao bọc; tại đây bố trí các doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực sản xuất, kinh doanh phần mềm.
• Khu Nghiên cứu và triển khai (R&D) có quy mô 229 ha, nằm phía trên khu công nghiệp công nghệ cao và bao quanh Khu phần mềm, là nơi tập trung các ngành nghiên cứu, triển khai ứng dụng công nghệ cao, đồng thời là nơi đào tạo các tài năng phục vụ các ngành công nghệ cao
• Khu Công nghiệp công nghệ cao có quy mô 549,5 ha được, bố trí tại phía Nam Khu Công nghệ cao Hoà Lạc, là nơi tập trung các nhà máy sản xuất các sản phẩm công nghệ cao. Trong Khu Công nghiệp công nghệ cao có hệ thống kho ngoại quan phục vụ cho hoạt động xuất khẩu, nhập khẩu hàng hoá.
• Khu Giáo dục và đào tạo có quy mô 108 ha, bố trí tại phía Bắc Khu Công nghệ cao, cạnh đường quốc lộ 21, tại đây phát triển các trường đại học, các trung tâm giáo dục, đào tạo và dạy nghề, là nơi cung cấp đội ngũ nhân lực có tay nghề cao.
• Khu Trung tâm có diện tích 50 ha, nằm cạnh Khu phần mềm, tại đây bố trí các công trình dịch vụ công cộng như: các toà nhà hành chính văn phòng làm việc, trung tâm hội nghị, trung tâm thông tin, bảo tàng, bưu điện, khách sạn, nhà hàng...
• Khu Dịch vụ tổng hợp có diện tích 87,5 ha, là khu dịch vụ đa chức năng, bao gồm: thương mại, kinh doanh, siêu thị, nhà hàng, khách sạn, y tế, dân sinh... phục vụ đầy đủ các yêu cầu trong và ngoài Khu Công nghệ cao.